本仪器低电压小电流工作，适用于低温冷槽车和工业气体设备、药厂粉尘车间等易燃易爆环境真空测试。
本仪器应用真空中热传导与真空度有关的原理测量真空。采用美国Posifa公司MEMS皮拉尼真空传感器（铂薄膜）封装制造，该测量元件是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25微米深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以确保精密测量传热率。由于被测气体体积小（即空腔容积小），Posifa传感器能够提供超低的功耗和快速的响应时间。Posifa传感器还提供了一个与测量电阻具有相同电阻温度系数（TCR）的基准电阻，布置在传感器芯片基板上。线路设计利用它来进行环境温度补偿。仪表的数据采集选用16位高速电路及高稳定微处理机监控新型线路，在分析仪器、半导体设备、机械泵测试、真空冶炼、真空浸渍、空调冰箱生产线等工业和科研部门有广泛应用。
|
