甩胶机 、匀膜机 匀胶机 型号:UN61M/KW-4A 库号:M123240 查看hh参数及要求: 基片尺寸:Φ5-Φ100mm 圆片, zui大100×100mm2方片 转速:500-8000RPM转速稳定性:<±1%旋涂均匀性:<3%旋涂工艺阶段:2 段 旋涂时间:Ⅰ速 0~18S,zui大(0~60S);Ⅱ速 0~60S,zui大(0~180S) 整机尺寸(长宽高):210mm×260mm×275mm裸机尺寸(长宽高):210mm×260mm×155mm电机功率:40W适应材料:硅片、玻璃、石英、金属、GaAs、GaN、InP 等各种材料 |