2路质子混气系统/质量流量控制器/两路质量供混气系统 型号:WH/MXGQ-2Z 库号：M403821 用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架上，管式炉可以放在它的上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀。结合微行炉业的管式炉，它可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响。
质量流量控制器
工作电压：220V
大输出功率：18W
控制范围：
控制器1：1-199 SCCM
控制器2：1-499 SCCM
工作温度：5-45 oC
大压力：3x 10^6 Pa
准确度：±1%FS
机械压力表测量范围：-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)
针型阀：304不锈钢
混气罐：Φ80*120MM
截止阀：Φ1/4 304不锈钢
外形尺寸：600*600*650MM
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