二氯硅烷钢瓶库号:M411853 二氯硅烷钢瓶(2.5L,带DCS阀门) 型号:KSC2.5L库号:M411853 查看hh 二氯硅烷钢瓶 型号:KSC2.5L 带DCS阀门,型号:NERIKI CGA636 DSP-21 材质316L,A. 内部电解抛光,Ra≤0.25um,容器内部用去≥18MΩ去离 子水清洗,真空置换,微量水分子 ≤ 0.5ppm B. 微量氧分≤0.5ppm: 粒物数量:>0.2m,≤5pcs/L,>0.5um 0pcs/L;氦检漏率不大于 1*10−7 D. 介质:二氯二氢硅(DCS),UN2189 





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