二氯硅烷钢瓶库号：M411854 二氯硅烷钢瓶（5L，带DCS阀门） 型号:KSC5L库号：M411854 查看hh 二氯硅烷钢瓶 型号：KSC5L 带DCS阀门，型号：NERIKI CGA636 DSP-21 材质316L，A. 内部电解抛光，Ra≤0.25um，容器内部用去≥18MΩ去离 子水清洗，真空置换，微量水分子 ≤ 0.5ppm B. 微量氧分≤0.5ppm: 粒物数量:>0.2m，≤5pcs/L，>0.5um 0pcs/L;氦检漏率不大于 1*10−7 D. 介质:二氯二氢硅(DCS),UN2189 
二氯硅烷钢瓶（5L，带DCS阀门） 型号:KSC5L库号：M411854 查看hh 二氯硅烷钢瓶 型号：KSC5L 带DCS阀门，型号：NERIKI CGA636 DSP-21 材质316L，A. 内部电解抛光，Ra≤0.25um，容器内部用去≥18MΩ去离 子水清洗，真空置换，微量水分子 ≤ 0.5ppm B. 微量氧分≤0.5ppm: 粒物数量:>0.2m，≤5pcs/L，>0.5um 0pcs/L;氦检漏率不大于 1*10−7 D. 介质:二氯二氢硅(DCS),UN2189 二氯硅烷钢瓶（5L，带DCS阀门） 型号:KSC5L库号：M411854 查看hh 二氯硅烷钢瓶 型号：KSC5L 带DCS阀门，型号：NERIKI CGA636 DSP-21 材质316L，A. 内部电解抛光，Ra≤0.25um，容器内部用去≥18MΩ去离 子水清洗，真空置换，微量水分子 ≤ 0.5ppm B. 微量氧分≤0.5ppm: 粒物数量:>0.2m，≤5pcs/L，>0.5um 0pcs/L;氦检漏率不大于 1*10−7 D. 介质:二氯二氢硅(DCS),UN2189
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