半导体微型气体质量流量计库号：M415936

微小气体质量流量控制器/半导体微型气体质量流量计 型号:GMFC-CXB-4-R4-A1-F2库号：M415936   查看hh

微型气体质量流量计

型号：GMFC-CXB-4-R4-A1-F2

用途与特点：质量流量控制器用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环境和真空灯多种行业的科研和中有着重要的作用。其应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外*延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器等。

主要技术指标

量程范围：（0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM

（0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM

准确度：±1.0%F.S

线性：±0.5~1.5%F.S

重复精度：±0.2%F.S

响应时间：电特性：10sec，气特性：（1~4）sec

工作压差：（0.1~0.5）MPa

耐压：3MPa

工作环境温度：0~70℃

数字量：RS485 MODBUS协议

模拟量：DC 0~5V ，4~20mA 可选

供电：DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA

电气连接：DB15

漏率：1×10-8SCCSHe

底座材质：316L不锈钢

密封材质：氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶

气路接头：Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞

质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气(N₂)标定.

质量流量的单位规定为：SCCM (标准毫升/分); SLM：(标准升/分)

标准状态规定为：

温度-----273.15K (0℃);

气压-----101325 Pa （760mm Hg）

F.S (Full Scale)：满量程值

技术参数

材质：不锈钢

精度等级：1

适用介质：气体

款式：电子带数显

公称直径：6mm

工作压力：3Mpa

流量测速范围：0---30SLMkg/h

工作温度：5-65℃℃

介质：氧气

流量范围：750-3000SCCM

供电：DC24V

输入输出：0-5v或者4-20mA

显示：LCD

通讯：RS485

精度：±1%FS

压差范围：0.05Mpa-0.3MPa

进口压力：≤3Mpa

温度：5-65℃

连接：1/4卡套接头

氮气标定量程

安装注意事项：

测量介质：气体须净化，切忌粉尘、液体和油污。

工作压差：要特别注意工作介质的气压，应注意使控制器进出气口两端的工作压差保持在指标范围之内。工作压差不在规定的范围内，流量将无法关闭或调小。在使用大流量的质量流量控制器时，要注意适当加粗管道和减小气源内阻，若工作压差小于要求值，有可能流量达不到满量程值。（建议客户：在进出口处安装压力表）

半导体微型气体质量流量计库号：M415936