磁控溅射仪库号：M413672 磁控溅射仪(含靶材4片） 型号:ZX/GEMINI-500库号：M413672 查看hh midwest-group 技术参数 真空泵.--(泵油)旋转真空泵 旋转真空泵转速50 Hz: 8 m2/h (2.2 L/s) / 60 Hz: 9.6m%/h (2.6 L/s) JI限真空度2Pa 溅射电流≤100mA 工作压力2Pa - 10Pa 抽真空时间<5 Min (2 Pa) 真空测量 测量范围从大气压到2x102mbar 气体控制气体流量控制阀 腔体尺寸φ186*120mm(高)抗刮石英玻璃 磁控靶源 靶尺寸φ50/ 溅射靶源:金、银、铂 操作方法 操作手册。 重量/尺寸30kg/430mm 长x 390mm 宽x 420mm 高 工作电源AC 220V 50Hz 电源功率<2000W 冷却方式 电制冷(选配) 自动化镀膜流程 全流程自动运行减少人工误差提|升|重复性与效率 GAO兼容性与均匀沉积 兼容多种靶材适配多类样品沉积均匀一致 热敏样品保护热敏溅射功能功率缓慢爬升降低样品受热风险 操作与模块化设计 触控操作直观 模块化便于升JI维护加便捷中西集团
自动化镀膜流程 全流程自动运行减少人工误差提|升|重复性与效率 GAO兼容性与均匀沉积 兼容多种靶材适配多类样品沉积均匀一致 热敏样品保护热敏溅射功能功率缓慢爬升降低样品受热风险 操作与模块化设计 触控操作直观 模块化便于升JI维护加便捷中西集团
磁控溅射仪库号：M413672 
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