离子溅射蒸碳仪库号：M413872

离子溅射蒸碳仪（磁控靶） 型号:WZX/SD-900C库号：M413872   查看hh

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一、双功能技术原理

喷金喷碳仪集成直流溅射与碳纤维绳热蒸发蒸碳双功能，属于物理|气相沉积（PVD）复合技术范畴，是通用单一功能设备无法替代的方案。喷金功能采用直流溅射原理，在≤4×10⁻²mbar低真空环境下，氩气被电离产生等离子体，正离子高速轰击铂靶表面，使铂原子均匀沉积形成致密导电薄膜；喷碳功能采用定制化碳纤维绳热蒸发技术，通过28V高压、100A大电流瞬时加热碳纤维绳，使其快速蒸发并沉积为CHAO薄碳膜，膜层厚度可通过0-1s精ZHUN定SHI控制。双功能共享一套真空系统与控制系统，无需换设备即可完成两种预处理工艺，大幅提升样品处理效率与兼容性。

二、应用场景

科研检测领域

适配扫描电镜（SEM）、透射电镜（TEM）样品预处理，喷金适用于陶瓷、塑料等常规绝缘样品，喷碳针对生物组织、CHAO薄材料、冷冻样品等热敏/对膜厚敏感的样品，可避免电子积累与样品SUN伤，保障高倍镜下成像，是考古文物、生物样本微观分析的设备。

材料领域

用于高分子材料、纳米材料、碳纤维复合材料的表面改性，喷碳可制备高附着力碳膜，提升材料导电性与光热转化效率；喷金可制备贵金属电极，适配传感器、光电器件等需求，兼顾多材料、多场景实验需求。

生物YI LIAO领域

针对含水生物样品、YI用耗材进行预处理，喷碳膜层薄且生物相容性佳，可避免影响样品活性；喷金用于XUE糖仪试纸、生物传感器等耗材的电极制备，保障检测信号稳定传输，适配与。

高校教学领域

适配材料、电子、生物教学与科研，可直观展示溅射与热蒸发两种PVD技术原理，设备操作简单、体积小巧，能快速完成小批量样品实验，兼顾教学演示与科研创新需求，是复合型教学设备。

三、技术参数

参数类别 详细规格

整机结构 1、采用主机+副机分体式设计，

主机尺寸300mm×360mm×380mm、

副机300mm×360mm×140mm（W×D×H），

2、总重40Kg，副机承载热蒸发模块，主机集成溅射与真空系统，布局优化且占用空间0.22㎡，较同类复合设备体积缩减40%，适配实验室紧凑空间，一体化复合结构无通用替代方案。

样品室与双功能系统 1、样品室尺寸160mm×120mm（D×H），采用高透光硼硅酸盐玻璃，可实时观察双功能镀膜过程，玻璃经防溅射涂层处理，避免靶材/碳粉附着影响视野。

2、溅射面积Φ50mm（匹配小型样品），蒸碳面积140mm（适配大面积样品），双功能工位较单一功能设备兼容性提升一倍。

靶材与蒸发材料 1、标配Φ50mm×0.1mm高纯度铂（Pt）靶材（纯度99.99%），与溅射靶一体化设计，溅射均匀性偏差≤±3%；蒸发材料采用碳纤维绳，耐高温、蒸发速率稳定，相较于石墨蒸发源，碳膜纯度、附着力，且与热蒸发模块适配，通用材料无法达到同等蒸碳效果。

溅射与蒸碳控制参数 1、溅射参数：电压-1600DCV，

电流50mA，

电流稳定度±0.1mA，

标准溅射速率40nm/分钟，

0-999s定SHI器秒JI调控；

2、蒸碳参数：电压28V，

电流100A，

0-1s SHUN时加热控制，

可精ZHUN制备10-50nm CHAO薄碳膜。

3、双功能参数独立存储、联动控制，控制系统可避免参数干扰，通用设备无法实现双功能协同。

真空与气路系统 4、皮拉尼真空计，测量范围1×10⁻³-1×10³mbar，针对双功能场景校准，显示精度±0.01mbar，可稳定维持≤4×10⁻²mbar工作真空度；微型真空气阀可连接φ3mm软管，可连通惰性气体提高成膜质量，密封性经测试（漏率≤1×10⁻⁵mbar·L/s），保障双功能真空环境稳定性。

动力与冷却系统 1、标配2L/S机械泵，与双功能系统适配性JIA，运行噪音≤55dB，从大气抽至工作真空度需3-5分钟；

2、冷却系统标配风冷，效率较通用风冷提升25%。注：若单次溅射CHAO 3分钟或制备厚膜，建议加装原厂电冷装置，控温保护样品与设备。

靶体配置 1、标配二极直流溅射靶，满足常规喷金需求；

2、选配磁控靶（适配后溅射电流可达100mA），磁控靶采用磁路设计，溅射速率较二极靶提升30%。中西集团

离子溅射蒸碳仪库号：M413872