热式气体质量流量控制器库号：M413346 热式气体质量流量控制器型号:BDD-S030C库号：M413346 查看hh 热式气体质量流量控制器 型号：BDD-S030C 流量：50SCCM 精度：1% F.S 本体数显的流量控制器，操作简单，示数直观，无需连接分体数显表，无需PLC编程，数字模拟量通讯均可！一键操作 气体质量流量控制器/流量计出厂通常用氮气（N2）标定。 质量流量单位：SCCM（标准毫升每分钟）、SLM（标准升每分钟） 标准状况：温度--293.15K(20℃) 压力--101325Pa（760mmHg） F.S（Full Scale）表示满量程 型号：BDD-S030C 流量规格（氮气）：0-10sccm/10sccm-50slm 控制量程：2%-100 % 精度：≤±1.0%F.S 线性：≤±0.5%F.S 重复性：≤±0.2%F.S 阀门类型：常闭阀 响应时间：1-3sec 耐压：≤0-50Bar 通信信号：0-5V/4-20mA/Rs485 供电方式：14VDC--27VDC (300mA) 泄*漏率：1×10-9atm. cc/sec He 应用行业：真空镀膜设备、石油化工、航空、航天、医药、制造业、火电、核电、天*然*气、加气站、液晶面板制造半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能*源与环境设备、各种分析仪器设备表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研实验室设备等行业的公司等
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