磁控溅射蒸发仪库号：M415848 磁控溅射仪/磁控溅射蒸发仪（含辉光放电） 型号:WZX/PISCES-900库号：M415848 查看hh midwest-group midwest-group 技术参数 真空泵 (泵油)旋转直空泵 旋转真空泵转速50 Hz:8 m2%h (2.2L/s) / 60 Hz:9.6m%/h (2.6 L/s) JI 限真空度2pa 溅射电流≤80mA 蒸发电流≤100A 溅射工作压力8Pa-20 Pa 工作真空压力4Pa-6 Pa 真空测量 测量范围从大气压到2x10-2mbar 气体控制.气体流量控制阀 腔体尺寸 φ186*120mm(长)抗刮石英玻璃 磁控靶源 靶尺寸50 /溅射靶源:金、银、铂 蒸发靶源 碳绳 操作方法 操作手册 重量/尺寸 35kg / 450mm 长x410mm宽x 480mm 高 工作电源 AC220V 50HZ 电源功率 ＜2000W 中西集团 中西集团 磁控溅射仪/磁控溅射蒸发仪（含辉光放电） 型号:WZX/PISCES-900库号：M415848 查看hh midwest-group midwest-group 技术参数 真空泵 (泵油)旋转直空泵 旋转真空泵转速50 Hz:8 m2%h (2.2L/s) / 60 Hz:9.6m%/h (2.6 L/s) JI 限真空度2pa 溅射电流≤80mA 蒸发电流≤100A 溅射工作压力8Pa-20 Pa 工作真空压力4Pa-6 Pa 真空测量 测量范围从大气压到2x10-2mbar 气体控制.气体流量控制阀 腔体尺寸 φ186*120mm(长)抗刮石英玻璃 磁控靶源 靶尺寸50 /溅射靶源:金、银、铂 蒸发靶源 碳绳 操作方法 操作手册 重量/尺寸 35kg / 450mm 长x410mm宽x 480mm 高 工作电源 AC220V 50HZ 电源功率 ＜2000W 中西集团 中西集团
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