宽量程真空测量系统//在线热偶真空计/在线热偶真空计 型号:ZXHD/VMG0527库号：M364781 查看hhZXHD/VMG0527复合规这个系列自带 2英寸 240X320液晶点阵显示模块，可以在现场读出真空系统的状态。传感器为压阻-热导复合，综合了压阻在 500Pa以|上|不受气体种类影响|GAO|精度，热导在 500Pa以下宽量程.真空规应用场合：本真空规应用于工业应用、科研院所、半导体行业需要测量粗低真空的场合：一般真空压力测量。前|级|管道和粗低真空压力测量。气体回填测量和控制。质|谱仪控制。启动GAO真空电离规。系统过程控制。检测异常压力，利用继电器设提供系统AN|全措施 控制系统压力。PVD、CVD气相沉积镀膜硅单晶生长指标:测量范围： 100kPa～0.1Pa测量精度：100KP～500Pa: 5%-3-500P～1Pa: 10%<1Pa: 20%工作电压： 12-24AVDC功率： <1.5瓦控制触点（可选组件）：2组 TTL级通讯方式（可选组件）：RS485模拟输出（可选组件）：隔离输出 4～20mA。 |
